球栅技术进程及应用.pdfVIP

球栅技术进程及应用 李 蓉，鲁双全 (重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400044) 摘 要：球栅技术是一种基于交流电磁感应的技术，是 目前流行的用于极端恶劣环境下测量动态直线位移的非 接触式传感器——球栅尺的关键技术_l1]。本文结合当前广泛应用的感应同步器、光栅尺、光电编码器以及磁栅 等传感器所存在的不足之处，比如解决某些恶劣环境下的测长问题等 (高温，高压 ，多粉尘 ，多噪声或者浸泡在水 里或油里)_l2]。基于电磁互感原理，详细介绍了球栅技术原理和典型球栅尺的工作原理 ，同时详细给出了球栅尺 的结构。并介绍了典型球栅尺相关的关键技术：安装、硬件电路及数据处理和误差分析。最后结合其特点给出 了球栅传感器当前的应用领域，并预测了其发展趋势。 关键词：球栅技术；球栅尺；动态位移传感器 中图分类号：TN201 文献标识码：A Developmentandapplication onspherosyntechnology LiRong。LuS