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元素分析的基础 X 射线的产生 如前所述，当电子射入物质后，从物质表面会发射出各种电子、光子及 X 射线等电磁波。如图 49 所示，由于入射电子的作用，内层电子处于 激发态，外层电子向内跃迁填补有空位的轨道时，会产生等同于能量差 的 X 射线，这就是特征 X 射线。 由于X 射线具有元素特有的能量（波长），通过对 X 射线的检测，能够 进行元素分析。K 层的电子被激发释放出的特征 X 射线被称为 K 线系， L 层、M 层被分别称为 L 线系、M 线系。越是重元素特征 X 射线的能量 越大，这是因为激发时需要高能入射电子。另一方面，入射电子被原子 核减速时产生的 X 射线被称为连续 X 射线或者轫致辐射 X 射线。 图 49 特征 X 射线的产生原理 X 射线分光谱仪 ● EDS 的分光原理 能谱仪 （Energy Dispersive X-ray Spectrometer ：EDS）是通过测试 X 射线的能量分析特征 X 射线谱的装置。如图 50 所示 X 射线进 入半导体检测器后，会产生一定数目的、相当于 X 射线能量的电子－空穴对，测试其数量（电流）就可以知道 X 射线的能量，为了减少检测 器的电