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利用亚微米光栅制作导光板方法的研究 中文摘要 利用亚微米光栅制作导光板方法的研究 中文摘要 导光板是液晶显示器背光模组中的关键器件。目前，国内外生产的导光板都是基 于几何光学原理进行设计的，本文提出一种新型导光板——光栅型导光板的设计和制 作方法。 文中首先利用严格耦合波理论(RCwA)分析亚微米光栅的衍射特性，即各级次 衍射光方向与光栅周期及入射光角度的关系，亚微米光栅的衍射效率与槽深的关系。 通过对亚微米光栅衍射特性的分析，总结出只要控制光栅周期及入射光的角度，亚微 米光栅就具有实现光波导的功能，为利用亚微米光栅制作导光板提供理论基础。 本文设计的亚微米光栅型导光板为矩形状的，导光板上表面的导光单元是由三套 光源采用的是红、绿、蓝三色发光二级管或者半导体激光器阵列，为了提高光能利用 率，除入光面和出光面外，导光板其余面都镀上金属膜。亚微米光栅型导光板通过光 栅空频控制出射光方向、控制槽深调节衍射效率，达到导光板出射光强的均匀性。 导光网点的设计是本文研究的重点，首先利用瑞利判据计算出各导光网点的大 小，然后设计导光网点——亚微米光栅的参数：按照入射光和出射光的角度，根据光 栅方程确定光栅周期；最后，按照均匀性要求确定各导光单元的光栅槽深。 通过实验验证亚微米光栅衍射效率与光栅槽深的关系，并证实亚微米光栅具有导 光特性。最后论证用双光束激光直写系统制作亚微米光栅型导光板的可行性。 关键词：导光板；亚微米光栅；光栅空频；光栅槽深 作 者：汪玲玲 指导教师：陈林森 The GuidePlatewithSub-micron Abstract StudyofFabdcafingLight Gratings of Platewith The Guide Study Light Fabricating Sub-micron Gratings Abstract isthe devicein module．At LCD of Lightguideplate key backlight present，thedesign inandabroadisbasedon this Lightguide dissertation， plate geometricalopticsprinciple．In anovel fabricated is its and Lightguideplate bygratingsproposed，includingdesigning method． fabricating diffraction ofsub·micron is Firstly,the properties gratingsanalyzedusingr