- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
现代科学仪器 第4期2009年8月
ModernScientificInstrumerlts NO.4 2009
·18· AUg
微纳尺度操作的系统设计
李勇滔1’2韩立1殷伯华’ 吴震憎 刘俊标1
001 00049)
(1中国科学院电工研究所北京190;2中国科学院研究生院北京1
摘要微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的
操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系
统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作
臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵。实验结果证明本系统能够适于在各种环境下进行微纳尺
度操作,具有很强的实用性。
关键词微纳尺度操作;SEM;微纳操作臂;精密工件台
中图分类号TP242.3文献标识码:A
Micro—NanoScale
ManipulationSystemDesign
Li Lil.Yin Junbia01
Yongta01,2,HanBohual,WuZhengI,Z,Liu
100190,China;2Graduate of
(1InstituteofElectricalEngineering,ChineseAcademyofSciences,Beijing
100049,China)
Sciences,Beijing
to
AbstractMicro—nano iSthemaintrendinmodemadvanced order
manipulation manufacturingtechnology.In
under micro—llanO
onthesubmicron—andnano—scale observation,a
implementoperation real-timely manipulatingsystem
basedonSEMiS consistsof environmentelectron stage,
presented.Thissystem digital scanning
as
micro—nano and environmentelectron wasused
manipulatorcomputersystem.Whereindigital scanning microscope
themonitorformicro.nano micro.nano was intheSEM
您可能关注的文档
最近下载
- 25题技术研发工程师岗位常见面试问题含HR问题考察点及参考回答.docx VIP
- 2025年《开学第一课》.ppt VIP
- 烟草物流师3级专业知识复习提纲下发版课件.docx
- Grundfos格兰富计量泵SMART Digital S, DDA, DDC, DDE up to 30 lph (Data Booklet)产品选型手册.pdf
- 2023年新版GMP成品运输确认.docx VIP
- 河北省阜平县石漕沟水库枢纽工程可行性研究报告的审查意见.docx
- 22G101 三维彩色立体图集.docx VIP
- 预留预埋施工.pdf VIP
- 某公司卓越绩效管理手册.pdf VIP
- 中国石化零售管理系统站级平台用户操作手册.doc VIP
文档评论(0)