微纳尺度操作的系统设计.pdfVIP

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现代科学仪器 第4期2009年8月 ModernScientificInstrumerlts NO.4 2009 ·18· AUg 微纳尺度操作的系统设计 李勇滔1’2韩立1殷伯华’ 吴震憎 刘俊标1 001 00049) (1中国科学院电工研究所北京190;2中国科学院研究生院北京1 摘要微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的 操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系 统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作 臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵。实验结果证明本系统能够适于在各种环境下进行微纳尺 度操作,具有很强的实用性。 关键词微纳尺度操作;SEM;微纳操作臂;精密工件台 中图分类号TP242.3文献标识码:A Micro—NanoScale ManipulationSystemDesign Li Lil.Yin Junbia01 Yongta01,2,HanBohual,WuZhengI,Z,Liu 100190,China;2Graduate of (1InstituteofElectricalEngineering,ChineseAcademyofSciences,Beijing 100049,China) Sciences,Beijing to AbstractMicro—nano iSthemaintrendinmodemadvanced order manipulation manufacturingtechnology.In under micro—llanO onthesubmicron—andnano—scale observation,a implementoperation real-timely manipulatingsystem basedonSEMiS consistsof environmentelectron stage, presented.Thissystem digital scanning as micro—nano and environmentelectron wasused manipulatorcomputersystem.Whereindigital scanning microscope themonitorformicro.nano micro.nano was intheSEM

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