CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值.pdfVIP

维普资讯 第 19卷 第 10期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．19，NO．1O 2007年 l0月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Oct．，2007 文章编号： 1001—4322(2007)10—1739—05 CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值 李绪平 ，祖小涛 ，袁晓东 ，蒋晓东 ， 吕海兵 ，郑万国 ， 唐 灿 ，李 珂 ， 向 霞 ， 郭袁俊 ，徐世珍 ，袁兆林 (1．电子科技大学 物理电子学院，成都 610054； 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900) 摘 要： 采用连续 CO。激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗。通过光学显微图、水 接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO。激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗 效果。研究表明：对于真空硅脂蒸发物