MEMS多层膜力学参数在线提取方法的研究.pdfVIP

摘要 摘 要 微电子机械系统(MEMS)是在微电子基础上发展起来的一种前沿技术．有广阔的应用前景。微电 子电路的在线监测技术对于保证产品的均匀性、一致性、重复性、可靠性等起了关键的作用，其手 段是让设计出的测试图形随同芯片经历相同的工艺步骤，然后利用方便快捷的测试方法测出相关的 性能参数，以便监控工艺．同时为IC设计者提供参数。可以看出。在线监测工艺对于提高产品一致 性，降低生产成本起着不可低估的作用。MEMS器件也面临同样的问题。由于构成MEMs器件的材 料对器件的结构与性能有很大的影响。很多材料．尤其是薄膜材料在形成薄膜、细梁等结构时，同 样的工艺，在不同生产环境中会表现出明显不同的力学参数，如密度、杨氏模量、残余应力、断裂 强度等等。如果以上力学参数已知的话，则传感器、执行器的一些静态或动态响应，就可以由已测 得的其它参数计算出来。所以，在线监测薄膜结构的力学参数对于MEMS器件设计及工艺监测具有 非常重要的意义。另外，在实际的MEMS器件中，总不可避免的要出现多层膜结构，在预先存在的 薄膜或衬底上生长出一层或几层薄膜材料．它们可以起绝缘或导电的作用；另外。有些结构层薄膜， 呈现出拉应力或压应力，使整个薄膜呈现出