射频等离子体中尘埃粒子和尘埃空洞的实验研究.pdfVIP

摘 要 带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室等离子体装置中和材料等离子 体加工工艺中。近年来，特别是在人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加 工质量的关键问题后，关于尘埃粒子在等离子体中的带电量、尘埃粒子在鞘层中 的生长及其运动模式等方面的研究备受关注。本文所研究的尘埃颗粒是利用等离 子体增强化学反应法原位生成的。文中着重进行了以下两个方面的研究: 一、等离子体中尘埃粒子平衡电荷量的测量 通过研究尘埃粒子在平衡位置处的受力情况确定尘埃颗粒所带的电荷量。主 要考虑两种力的作用即尘埃粒子所受的电场力和重力。根据这两种力的平衡关系 就可以粗略得出尘埃粒子在平衡位置处的电荷量。 计算结果表明:实验中所研究的尘埃粒子在平衡位置处所带的电荷为10-105 个基本电荷，这和其他研究者的结果比较符合。 二、等离子体中尘埃云和尘埃空洞的研究 本文主要研究在射频(13.56MHz)等离子体中，尘埃云在等离子体中的形成、 生长过程，研究了尘埃颗粒在等离子体鞘层中的行为模式如悬浮位置、悬浮状态、 不稳定性等。特别是研究了反应参数如气压、射频功率、电极形状等对尘埃空洞 的形成、大小及其运动变化的影响。 实验结果表明:1.随着反应气压的增加，尘埃云和尘埃空洞