大气压等离子体射流的产生机理.pdfVIP

摘要 本文首先回顾了各种能够产生大体积、高气压非平衡等离子侧4原的方祛，以及正在 高速发展的大气压非平衡等离子例a原。着重介绍了一种大气压非平衡等离子不朝原一一等 离子体身{流的发厘ull程。建立一个大气压下非平衡等离子伟玫电的理论模型，来研究大 气压等离子子体射流内部的电子和离子的空间和时间分布。这个理论模型主要是由电子 离子的连续胜力程和等离子体空间内泊松方程构成的。本文采用差分的方涅冻解这组方 程，而刘积累在介质阻挡层上的面电荷密度，这里采用一个均匀分布的体电荷密度来代 替。结果，计算了不同的电源频率和电压下，等离子体内部电子和离子随着时间和空间 演化规律。 在实验上分析和比较了不同的放电气流、不同的放电气体、不同的放电电压一以及不 同的外电极和不同的放电电源频率下的所得到的放电现象。和理论模拟的结果相比较得 出的主要结论为:高频电源放电达到平衡时产二生的等离子体密度分布是非常不均匀的， 并且这个密度分布和初始的本底密度大小无关，但是增加电源电压可以提高等离子体密 度，然而密度的增加幅度并不明显。射频电源放电需要一个比较高的本底密度 (本底密 度川氏不能够形成自持放电)，达到放电平衡时产生的等离子子体密度分布比较均匀，增 加电源电压可以显著的提高等离子体密度