SOI RESURF器件高压互连线效应的二维解析模型.pdfVIP

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SOI RESURF器件高压互连线效应的二维解析模型.pdf

维普资讯 第28卷 第3期 南 京 邮 电 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) V01.28 No.3 2008年 6月 JournalofNanjingUniversityofPostsandTelecommunications(NaturalScience) Jun.20o8 文章编号:1673-5439(2008)03-0022-05 SOIRESURF器件高压互连线效应的二维解析模型 郭宇锋 ,王志功 /1.东南大学射频与光电集成电路研究所,江苏 南京 2.南京邮电大学 光电工程学院,江苏南京 210003 摘 要:高压互连线效应是影响集成功率器件性能的重要 因素之一。首先提 出一个高压互连线效应对 SOI横向高压器件的漂

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