基于微粒群算法和网格模型的参数优化方法.pdfVIP

第27 卷 第9 期 控 制 与 决 策 2012 年 9 月 Vol. 27 No. 9 Control and Decision Sep. 2012 文章编号: 1001-0920 (2012) 09-1288-05 基于微粒群算法和网格模型的参数优化方法 1,2 1 1 1 李文启 , 仇一鸣 , 汪 镭 , 吴启迪 (1. 同济大学电子与信息工程学院，上海200092 ；2. 亚德诺半导体技术(上海) 有限公司，上海200021) 摘 要: 针对在半导体制造工艺参数优化过程中缺乏直观参考的问题, 在微粒群优化算法(PSO) 和等值线理论分析 的基础上, 将PSO 与等值线矩形网格模型相结合, 提出一种全新的工艺参数窗口选择方法. 在二维标准多峰函数上 验证了所提出方法的有效性, 同时对所提出的方法进行了实际生产验证. 对于双输入参数问题, 该方法可以直接输出 所有满足工艺要求的二维区域, 从而为参数优化和范围选取提供直观参考. 仿真测试结果和生产验证数据均表明了 所提出的算法是一种有效的参数优化方法. 关键词: 微粒群算法；网格模型；等值线；参数优化 中图分类号: TP391 文献标志码: A Particle swarm optimization algorithm and grid model based method for parameter optimization 1,2 1 1 1 LI Wen-qi , QIU Yi-ming , WANG Lei , WU Qi-di (1. School of Electronics and Information Engineering，Tongji University ，Shanghai 200092，China ；2. Analog Devices Technology(Shanghai) Co Ltd ，Shanghai 200021，China ．Correspondent ：LI Wen-qi ，E-mail ：robert.li@) Abstract ：：：To effectively provide direct and clear reference for process parameter optimization in semiconductor manufacturing field, a new method to define input parameter window is proposed based on the advantages of both particle swarm optimization(PSO) algorithm and rectangle grid model. Simulation results on standard two-dimensional multi-modal functions show the effectiveness and validity of the method. For the scenario of two input parameters, the method can provide all the domains and a series of contour meeting process requirements. Both simulation results and production validation data show that the method is an effective way for process parameter optimization. Key