01第一章第一节扫描电子显微镜52652.ppt

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2017-09-08 发布于重庆
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第一章扫描电子显微镜一、照明系统（电子光学系统）二、成像系统三、样品台四、真空系统五、稳压系统一、照明系统（电子光学系统）电子枪：提供稳定的电子照明源聚光镜（二级、有光栏）：束斑2μm 物镜及偏转线圈：束斑几十? 二、成像系统成像系统三、样品台四、真空系统 RP+DP RP：机械泵， 10-2-- 10-3τ DP：扩散泵（硅油），10-5 τ 1τ=1mmHg 五、稳压系统 10-4 * 第一节扫描电子显微镜结构成像系统 *