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* 静 电 基 本 认 识 What is ESD 1 2 静电的基本认识 包括: 1.何谓静电? 2.静电如何产生? 3.静电带来的问题? 4.何谓静电敏感组件? 3 4 静 电 是 什 幺? *自然规律是试图将正电荷和负电荷保持平衡,理想的物体应保待不带电的中性状态. *当物体表面的分子带有电荷或极化时,带电现象就出现了. *任何一种材料都可能带静电,而产生静电的最普通方式,就是感 应和摩擦生电. *从发生的结果来看,所谓静电应为离子在两接触面产生位移. 5 6 静 电 如 何 产 生 ? *摩擦是产生静电的主要方法 *当两个物体表面紧密接触,然后在分开时,一个物体的表面就 会因失去电子而带正电荷, 而另一个物体的表面也会因得到 等量的电子而带 负电荷.(如图1) 7 图1,由材料的接触和分离形成静电电荷. 8 接触面 图2.二种材料中电子从一个原子移到另一个原子 图2.所示当二种材料接触,由于在材料A中其原子核 对其最外围电子的吸收力较小, 因此附到材料B上, 最后A极性为“+”, B为“-”. 10 摩擦生电强弱之系列 + Hand 人 手 Asbestos 石 棉 Glass 玻 璃 Human Hair 人 发 Nylon 耐 隆 Wool 羊 毛 Lead 铅 Silk 丝 Paper 纸 张 Cotton 棉 花 Steel 钢 铁 Wood 木 材 Acetate Rayon 醋酸螺莹丝 Orlon 奥 龙 Saran 莎冉树脂(包食物用透明膜) Polyethylene 聚乙烯树脂 - Teflon 铁氟龙 11 ◆ 当带电的物体产生静电场时, 应生电现象就产生了.如果你将一块导电体放置于感应导电体中,它将会获取静电荷,而全然不必与原带 电子接触. 12 感 应 生 电 感 应 生 电 对导电材料, 因电子能在它的表面自由流动, 所以有其它两种方式可令其上产生静电荷. 第 一种由感应造成, 机理作用示图4(a),(b),(c).第二 种由接触产生,其机理作示图5(a),(b),(c). 13 图4(a). 从A处发生电场E,在导体B上感 应出的极性. 图4(b).当导体B接地,电子从地流入将所有正电荷中和. 图4(c)断去接地时,导体B变成负电荷. A B 14 图5(a).导体B开始时呈中性状态. 图5(b).导体A和B相互接触时,电荷从A流向B直至电压平衡. 图5(c).最后导体B带有电荷. 15 16 静电的基本物理特性 1.有吸引或排斥的力量.(F= ) 2.有电场存在,与大地有电位差.(V= ) 3.会产生放电电流.(I= ) V R Q C 1 4πε Q1 Q2 r N 2 静电所带的问题 *组件吸附灰尘改变线路间的阻抗,影响组件的功能或寿命. *静电放电现象对敏感的电子装置所造成的破坏,包括因电场 或电流坏组件绝缘层和导体,使组件不能工作 (完全破坏)以 及因瞬间的电场软击穿或电流产生过热使组件 受伤, 仍然工 作, 但是寿命受损. *静电使微处理器产生误操作和死循环. *静电荷所引起的生产线和制造流程方面的问题. 17 静电电荷对微电子工业的影响 由静电电荷所形成的主要问题是: (1) 微污染. (2) ESD失效 18 微 污 染 因为任何时候芯片本身或空气中的灰尘粒子带 有电荷,在它 附近即会出现一个电场,靠近这些材料将感应由此被极化. 库伦 力F即会出现并将它们拉在一起, 如果两者带 有不相同的电荷, 那结果更不用说了. 19 图6,由于B上发生极化而感出库伦力F A F B 20 21 不同器件SiO2层横截面及下一代发展趋势 ESD 失 效 大规模的生产,包装或测试过程中,静电放电对电子装置所造 成的危害是无须置疑的. 随着对器件体积各容限的要求的提