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大气压放电
1． 必要性和优点
（a） 无需真空室
（b） 可批量处理，生产效率高
（c） 投入运行成本
2． 大气压放电的模式
3．放电模式随气压的变化
流 电 电 辉光放电区放 电弧放电
电晕放电
放电功率
1
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4． 大气辉光放电的优点
同电晕比较：放电强，处理速度快
同电弧比较：放电均匀，处理均匀
放电效率高：例：在空气中维持 1 个 ion-electron 对
glow 需 81eV, Arc 需要 10,000 eV per。
5． 大气压辉光放电的困难
（1）辉光放电区域随气压减小
（2）大气压放电中的热不稳定性（正反馈效应）
正反馈效应：放电局部增→局部气体加热增强→气体温度增加→局部气体密度降低，折合
电场强度（E/n）增加,电子能谱向高能区增加
实验例子：[高气压，负高压（充电电容）]
2
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●放电电流和电压
Glow Arc
region region
放电电压、电流随时间的变化 DC 放电 V—I 曲线
实验结果：放电模式转化时间 T(Glow to Arc)随气压的变化
问题 1：放电在何处易于收缩？
问题 2：如何抑制 glow to arc 的 transition?
3
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问题 3
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