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H型阶段三自由度柔性关节的优化设计
2、介绍
因为电脑的出现,信息技术已在世界上有了显著的发展。信息技术的发展需要大型和高分辨率的显示器。远距离精确定位需要是大型并且高分辨率的显示器,如液晶显示器,有机发光二极管和PDP。因此,长程阶段所需的高推力的性能以及它的精确性和长期性,直接推动了显示产业和半导体产业的发展。
在H型阶段已普遍采用了精密定位系统,实现了更大范围,更精确的精度和更高的推力,特别是完成远距离的定位。这种定位系统减小了因Z轴回转误差和X轴驱动主导位置误差而引起的制造误差和装配误差。
最近,该单片柔性铰链结构已被用于指导高精密运动系统。旋转误差。开发出一种无冗余驱动并联机构的旋转
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