一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析.pdfVIP

第25卷 第 1期 传 感 技 术 学 报 Vo1．25 No．1 2012年 1月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Jan．2012 Design andAnalysisofaNovelDifferentialSi-Based M icro．AccelerometerBasedonResonantFork FAN Shangchun ，SUN Miaomiao，LICheng (Schoolofinstrumentscienceopto—electronicsengineering，BeihangUniversity，Beijing100191，China) Abstract：Inordertoenhancethesensitivity，stabilityand toreducethesizeoftheresonantaccelerometers，this paperproposesanovelstructurefortheresonantSi—basedmicro—accelerometer．Inertialforceoftheproofmassis amplifiedandmeasuredbyaone--stagemicro--leveragemechanism andapairofdifferentialdouble-·ended-t·uning-- fork(DETF)resonatorsrespectively．FromthenaturalrfequencyshiftoftheDETF，theaccelerationcanbededuced． Bulk—micromachining can be adopted to manufacture this accelerometer，and the corresponding general manufacturingprocessispresented．Analyticalandfiniteelementanalysis(FEA)methodsareappliedtooptimizethe sensitivecomponentoftheaccelerometer；theanalyticalresultisin goodagreementwith thatobtainedbyFEA method，theFEA sensitivityoftheaccelerometeris57．4Hz／g ．Resultsoftheanalysesshow thatthisproposedac— celerometerpossesseshighsensitivity，hightemperaturestabilityandsmallsize． Key words：resonant micro—accelerometer；double-ended—tuning-fork resonator；micromechanical leverage mechanism ；finiteelementanalysis EEACC：2575；7320E doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2012．01．004 一 种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析冰 樊尚春 ，孙苗苗，李 成 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100191) 摘 要：为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积，本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采 用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大，通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力，从而实 现对加速度的测量。该加速度计可采用体硅加工工艺，给出了总体工艺流程。采用解析和有限元分析方法对加速度计敏感 元件进行了分析，有限元分析结果与解析分析结果相吻合 ，有限元分析可得加速度计灵敏度为57．4Hz／g。分析结果表明该 加速度计结构具有高灵敏度、高温度稳定性和小体积等优点。 关键词 ：谐振式微加速度计；双端固支音叉谐振器；微杠杆结构；有限元仿真 中图分类号 ：TN304．