斖旗含量对斖旗斱旑斚薄膜光学性质的影响.pdf

第 卷 第 期 液晶与显示 棽椆 暋 棾 暋暋 斨旓旍棶棽椆暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋斆旇旈旑斿旙斿斒旓旛旘旑斸旍旓旀斕旈旛旈斾斆旘旙旚斸旍旙斸旑斾斈旈旙旍斸旙暋 暋暋暋暋 年 月 旕 旟 旔 旟 棽棸棻棿 椂 暋 暋 暋 斒旛旑棶棽棸棻棿 文章编号椇 棬 棭 棻棸棸椃灢棽椃椄棸棽棸棻棿棸棾灢棸棾椀棸灢棸椀 斖 含量对斖 斱旑斚薄膜光学性质的影响 旂 旂 棳 棻棽 棽 棻 棻 棽灣 棳 棳 棳 棳 高丽丽 徐 莹 张 淼 张跃林 姚 斌 暋 暋 暋 棬 棳 椈 棳 棭 北华大学物理学院 吉林吉林 吉林大学物理学院 吉林长春 棻棶 棻棾棽棸棻棾棽棶 棻棾棸棸棻棽 椇 棳 棳 棳 摘要 利用射频磁控溅射技术 高纯的氩气作为溅射气体 分别选用不同 斖 含量的 斖 斱旑 斚陶瓷靶材 在石英衬底 旂 旂 棻棴 上生长六角纤锌矿结构的 棳 暎 斖 斱旑 斚薄膜 并对薄膜进行了后期热退火处理 研究了 斖 含量对 斖 斱旑 斚薄膜光 旂 棻棴 旂 旂 棻棴 暎 棳 棳 椈 棳 学性质的影响 实验结果显示 随着斖旂含量的增加 薄膜的带隙变宽 光致发光光谱中近带边发射中心蓝移 近带边紫 棳 椈 棳 外发射与可见光区深能级发射强度比值减小 发光质量下降 拉曼光谱仍然保持着 斱旑斚的拉曼振动模式 但随着 斖旂含 旇旈旇 旂 量的增加棳 棳 暎 棳 棳 棳 斉 振动峰逐渐展宽 峰型对称性变差 分析表明 随着斖 的合金化 薄膜中产生了更多的杂质缺陷 结晶 棽 旂 质量下降暎 椇 椈 椈 椈 关 键 词 射频磁控溅射 薄膜 含量 光学性能 暋 暋 斖 斱旑斚 斖 旂 旂 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斚棿椃棽暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斮斒斮斬斢棽棸棻棿棽椆棸棾棶棸棾椀棸 斉旀旀斿斻旚旙旓旀斖 斻旓旑旚斿旑旚旓旑旚旇斿旓旚旈斻斸旍旘旓斿旘旚旈斿