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Marketing  天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn IXRF  X-BEAM X射线管结合SEM的自动样品台，实现微量元 素的XRF面分布  扫描电镜能谱仪（EDS）则用电子束来激发材料的特征X射线，作为材料成分分析 的重要手段，EDS具有定性，半定量以及快速分析的特点，并且结合扫描电镜，可以 进行元素线扫描以及面分布分析，以及颗粒物分析等高级功能，已经成为扫描电镜的 重要配件。但是SEM-EDS分析的检测限最优只能达到1000ppm，对于微量元素无法 检测。 iXRF公司独家推出将X射线管装在SEM上面进行XRF分析，且能够实现微量元素的 面分布，且能够达到10um的空间分辨率.X射线激发对样品没有损伤，对于容易受到 电子束损伤的样品，可以采用低电压扫描样品得到图像的同时，利用X射线源来激发低 电压无法激发