糙化界面的高分子基金属薄膜延展性研究.pdfVIP

中国力学学会学术大会2009 （CCTAM2009 ） 糙化界面的高分子基金属薄膜延展性研究1) 许 巍 杨金水 王 飞 卢天健2） （西安交通大学强度与振动教育部重点实验室，西安 710049） 摘要 柔性电子中联接电子元器件的互联金属导线多以附着在高分子基底上的薄膜形式存在，此类膜基体系在服 役过程中需要承受相对较大的变形。因此，如何改进高分子基金属薄膜的延展性能成为现今制约柔性电子技术发展的 关键问题之一。以往的研究中通过对高分子基底进行酸碱腐蚀、喷砂等表面糙化处理，虽然可以有效提高膜/基结合性 能，但却很少考虑基底表面糙化处理对提高膜基体系延展性能的影响。本文首先通过实验研究了在含糙化表面的聚酰 亚胺基底上附着的Cu膜的延展性能，结果表明提高基底表面粗糙度能够显著降低Cu在拉伸条件下的裂纹密度。由于膜 基体系表面裂纹的扩展与薄膜表面拉伸正应力分布相关，薄膜表面拉伸正应力的分布将直接影响膜基体系的延展性， 本文运用商用有限元软件ABAQUS模拟计算了基底表面糙化处理后，金属薄膜在拉伸状态下的应力分布。在计算模型 中，膜基界面被处理成正弦曲线形式的理想化界面，并考虑了金属薄膜的外表面为平直状和与