高精度直径和形状综合测量技术的研究.pdfVIP

6A 第31卷第6A期 计 量 学 报 V01．31，No ACTA 2010年12月 METROLOGICASINICA December，2010 doi：10．3969／1．issn．1000·1158．2010．z2．48 高精度直径和形状综合测量技术的研究 薛 梓， 叶孝佑， 武永波， 占伟伟， 王鹤岩， 杨国梁 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：直径和形状参量是表征回转体工件不同特性的两个参量，在常规的高精度测量中直径和形状是分别测 量再合成表征的，其合成测量不确定度会增大，测量时间比较长。为了满足回转体类工件超精密制造精度不断提 高的要求，需要研究不确定度为0．1斗m的直径和形状综合测量技术和方法。根据直径和形状的测量原理、