[CoPtAg]_n纳米多层膜结构和磁性能.pdfVIP

242 中国科学 E 辑 工程科学 材料科学 2005, 35(3): 242~248 [CoPt/Ag] * n 许小红 杨治广 武海顺 ( , 041004) 山西师范大学化学与材料科学学院 临汾 摘要 用磁控溅射法分两种顺序制备了系列厚度的[CoPt/Ag]n 纳米多层膜, 600 ℃真空退火后, 进行了磁性测量和微结构分析. 研究表明, 退火后两种顺序 制备的 多层膜有着不同的微结构和磁性能 且膜厚越小差别越显著 [CoPt/Ag]n , . 先沉积Ag 层的[Ag/CoPt] 多层膜, 退火后更易于形成高有序化度的L1 -CoPt 相,