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第 7卷 第3期 中国光学 Vo1．7 No．3
2014年 6月 ChineseOptics Jun．2014
文章编号 2095—153l(2014)03-0442-07
真空条件下不同波长固体激光
烧蚀单晶硅的实验研究
齐立涛
(黑龙江科技大学机械工程学院，黑龙江哈尔滨150022)
摘要：通过倍频Nd：YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266nm的激光 ，研究 了单晶硅 (si)对不同波长固
体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶si的烧蚀特征。结果表 明，单晶 对波长为 100～
370am的紫外激光具有很好的吸收效果；在其他条件相同时，532nm波长激光烧蚀单晶si所需最低单脉冲能量 (E ：
30 )是355和266llin波长激光烧蚀单晶si所需最低单脉冲能量 (E。=15 )的2倍；532、355和266rlnl的激光烧蚀
单晶si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。
关 键 词：Nd：YAG固体激光；激光波长；单晶硅；烧蚀阈值
中图分类号 ：TN249 文献标识码：A doi：10．3788／C00442
Differentwavelength solid-statelaserablation of
siliconwaferin vacuum
QILi-tao
(SchoolofMechanicalEngineering，HeilongjiangUniversityofScienceandTechnology，Harbin150022，China)
Correspondingauthor，E—mail：qhlx@hotmail．corn
Abstract：Laserswithwavelengthsof532nm，355nm and266am areobtainedusingharmonicgenerationof
aNd：YAG solid—statelaserbynonlinearopticalcrysta1．Therelationshipbetweentheabsorptionofsinglecrys—
talsiliconand thelaserwavelength andablationcharacteristicsofsinglecrystalsilicon by3 differentwave—
lengthlasersundervacuum conditionarestudied．Theresultsshow thatsinglecrystalsiliconhasagooda}1-
sorptionofultravioletlaserinthewavelengthrangeof100— 370nm ，andunderthesameconditions，themin—
imum singlepulseenergyfor532nm laserablationofsiliconis30txJandtheminimumsinglepulseeneryg ofr
355nm or266nm laserablationofsiliconis15 ．Theablationthresholdvaluesof532nm，355nm and266
nm laserablationofsiliconaredifferent，whichbecomesmallerwiththedecreaseofwavelength．
Keywords：Nd：YAG laser；laserwavelength；silicon；ablationthreshold
收稿 日期 ：2013—12—12；修订 日期 ：2014-02—13
基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目(No；黑龙江省 留学归 国人 员科学基金 资助项 目(No
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