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第18届国际污染控制学套论坛 12英寸晶圆生产厂设计探讨 12英寸晶圆生产厂设计探讨 信息产业电子第十一设计研究院有限公司 王教勃+ 摘要 概要介绍12英寸晶圆生产线发展情况、技术要求、AMc控制、洁净度等级、空间管理以 及某些在设计中比较关注的问题，诸如消防、安全、环保、节能，等． 关键词设计12英寸晶圆生产线技术要求 1．12英寸晶圆生产线发展情况 2l世纪伊始，全球开始建设12英寸晶圆生产线。 根据日本统计，2002年全球建设12英寸晶圆生产线情况见表1。 表1．12英寸晶圆生产线(条) 地区 在建及投产 投产 日本 3 2 美国 7 5 欧洲 3 2