材料及分析7-SEM黑白.pdf

扫描电子显微镜(SEM) Scanning Electron Microscope sxbao@uestc.edu.cn SEM与光学显微镜OM和TEM 的成象方式不同,， 它不用透镜放大、成象，而是以类似电视摄影显象的 方式，用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的 某些物理信号来调制成象。 SEM 的特点：弥补了OM(分辨率和放大倍数低, 景深小)和TEM(制样困难) 的不足之处, SEM即可以直 接观察大块的样品, 10倍到18万的放大倍数连续可调; 具有景深大、分辨率高等特点,尤其适合粗糙表面的观 察研究; SEM多附加EPMA功能, 在进行显微结构观察 的同时研究微区化学组成. 不足之处是要求样品导电，对绝缘材料需要预先 镀Au或C导电层。 第一节 SEM原理与结构 一、工作原理 电子束 聚焦的e 束在样品表 面扫描, 激发样品产生 二次 e, 背散射 e 等信 息； 这些信息的波长( 能 量) 和强度取决于受激 区域的形貌和成分等; 该信息经处理放大 馈送到显象管栅极调制 显象管的亮度: 显象管中e束和镜筒e束 是同步扫描; 显像管亮度是由试样激 发出来的信息所调制; 电子束 表面任一点收集的 信息强弱与显像管上 相应的亮度之间是一 一对应的, CRT上能获 得反映样品表面各种 特征的扫描图象。 二、 SEM结构 SEM由电子光学系统(镜筒) 、扫描系统、信号接收 处理、显示记录系统、电源系统和真空系统组成。 1．电子光学系统 组成: 电子枪、电磁聚光镜、光阑和样品室。 作用: 该系统中没有起成象放大作用的透镜, 只有起聚焦作 用的聚光镜, 仅用来获得扫描e束,为了获得高的信号强度和 分辨率,扫描e束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 4 5 2 W 丝阴极e枪: 亮度10 ~10 A/cm ·sr, 束斑直径最小60 Å; LaB6 阴极e枪: 由于EW 很小, 故亮度比W 丝高几倍; 场发射电子枪: 用强电场使曲率半径很小的点状阴极尖端 发射电子,束斑直径可小至10—20 Å。 2．扫描系统 由扫描偏转线圈提供同步扫描信 号，使入射电子束在样品表面扫描和阴 样品 极射线管电子束在荧光屏上的扫描保持 精确的同步。扫描区域一般都是方的， A s 大约由1000条扫描线组成。如图,入射电 子束在样品表面扫描振幅为A ，阴极射 s 线管电子束在荧光屏上扫描振幅为A ， CRT c M A A 则扫描像的放大倍数： ,仪器荧光 c s 2 屏通常为100×100mm ，则