飞秒激光微加工_激光精密加工领域新前沿67369.pdfVIP

第34 卷 第 5 期 中 国 激 光 Vo . 34 , N o. 5 2007 年5 月 CH IN ESE JOU RNA L OF LA SER S May , 2007 : 02 582 7025( 2007)28 综述 飞秒激光微加工: 激光精密加工领域的新前沿 何 飞, 程 亚 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800) 秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点, 这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的。首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史, 然后介 绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制, 接着阐述了 秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法 的原理, 重点讨论 秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等, 最后展望了 秒 激光微加工领域所面临的机遇和挑战, 指出了未来的研究方向。 超快光学; 秒激光; 光与物质相互作用; 微加工; 集成光学; 双光子聚合; 微流体; 纳米颗粒 TN 24 9 A Femtosecond Laser Micromachining: Frontier in Laser Precision Micromachining H E Fei, CH ENG Ya ( StateKey Laboratory of High Field Laser Physics, Shanghai Institute of Optics and FineMechanics, The Chinese cademy of Sciences, Shanghai 201800, China) Abstract Femtoseon d aser micr omach in in g enab es fabrication of tru e thr ee2 dimen sion a ( 3D) m icrostr uctur es w ith high precision and ow h eat effect and damage thresho d , show ing un ique adv ant ages ov er th e tr adition a aser micromach in in g t echno ogy . W e f irst r eview th e hist or ies of aser micropr ocessing an d u t ra2 short pu se aser t echn o ogy, and th en out in e th e mech an isms of th e int er act ion s of u tr a2 short aser pu se w ith met a s an d tran spar ent media. N ext , w e intr oduce sev era major t echn ica appr oach es in th e fie d of femtosecon d aser micromach in in g su ch as femtosecon d aser direct writing ,