内径尺寸光电位移检测系统设计.pdfVIP

ISSN 100 9289 84 长春工程学院学报 (自然科学版 ) 2 008年 第 9 卷 第 1期 22 / 26 　　　　　 　　　　　　J. 　Ch　an　gc　hu　n 　In s　t. T　ec　h.　(N　a　t. S　c i.　E　di.　) ,　2 008, V l. 9 ,N .　1 　　 　 CN 22 21323 /N 7 3276 内 径 尺 寸 光 电 位 移 检 测 系 统 设 计 1 2 杨崇波 ,付 　强 ( 1. 长春工程学院 设计研究院 ,长春 130012; 2. 长春理工大学 ,长春 130 022 ) 摘 　要 :根据小型孔类零件结构特点 , 同时依据光 电 面 内径尺寸的光 电非接触检测 。 位置敏感器 ( PSD ) 和光三角检测原理 ,提 出了一种 1　激光光三角位移检测原理的理论分析 内径尺寸激光非接触测量方法 ,并据此设计 出激光 探头光学测量系统 ,并对其测量原理进行了分析 。 如 图 1所示 ,从半导体激光器及光学准直系统 关键词 :光 电检测 ; 光三角法 ; 内径 ;非接触测量 1射 出的准直光束经反射镜 2、辅助透镜 3 和发射光 中图分类号 : TP93 文献标识码 :A 学系统 4 聚焦后 ,在被测工件 5 的表面 (即目标面 ) 文 章 编 号 : 1009 28984 (2 008) 0120073 204 上形成一个尺寸足够小的光点 , 目标面上 的漫反射 光经成像光学系统 6 后 ,在 P SD 上形成一个相应的 像点 。当目标面变化时 , P SD 上的像点也随之变化 , 0　引言 根据 PSD 上 的像点位置 ,就可以得到位移尺寸 H 。 光电检测利用光学原理进行精密测试一直是计 量检测技术领域中的主要方法 ,是当代先进技术之 一 。光电检测技术是一种非接触式测量技术 ,它 以 光信号为载体 , 以位置敏感器 ( P siti n Sen sitive D e2 tect r简称 PSD ) 、电荷藕合器件 (Cha rge c up led de2 v ice s简称 CCD )和二极管阵列 (DAD ) 、光 电倍增管 ( ) ( ) Ph t m u ltip lier,简称 PM T 、光 电二极管 P IN 等光 电器件为基础 ,通过光电检测器件接收光信号并转 换为 电信号 ,由输入 电路 、放大滤波等检测电路提取 图 1　光三角测量系统工作原理图 有用信息 ,再经 A /D 变换接 口输入计算机运算、处 111　位移量与光学系统参数之间的关系 理 ,最后显示或打印输出所需检测物体的几何量或 设在某种情况下 , 入射光和接收光学系统 6 的 物理量等参数 。光 电检测技术综合 了现代光学 、电 θ α 光轴与基准面法线夹角分别为 和 , 接收 光学系 子学 、精密机械 、计算机等多方面领域 的