1精密特种加工概论.ppt

美Berkeley的“飞行蝇”微飞行器 美国小型侦察通信卫星1991年海湾战争中使用, 1箭7星组网 21kg Aprize卫星公司的AprizeStar微型实验卫星 分离放出自动维修工具系统 清华-I微型卫星 共同发射的试验卫星1号与纳星1号 其中试验卫星1号哈工大研制 尺寸在微米至毫米范围内的零件的加工都归属为微细加工 尺寸公差和形位公差都很小，一般在100nm范围内，而表 面粗糙度值更是小于10nm 细微加工必然属于精密和超精密加工范畴 包括传统精密加工、精密特种加工（如微细电火花加工、 微细激光束加工、电子束加工、离子束加工等）及 硅微细加工技术、 LIGA技术、基板键合技术（如硅— 玻璃键合、硅—硅键合）等。 LIGA技术制造的微器件 LIGA工艺制成的金属(镍)微器件 微型机械制造所用的材料依据制造工艺方法不同而不同 如硅微细加工技术中的单晶硅、多晶硅、氮化硅等材料； LIGA技术中的镍、铜、金等金属材料和塑料以及功能材料，如电/磁致伸缩材料、钛镍合金等开关记忆合金材料，镍铁合金永磁材料等。。 对精密与特种加工技术既有广阔的社会需求，又 有巨大的发展潜力，引进技术和设备，合作办厂 我国的现状及发展 目前整体技术水平与发达国家之间的差距在缩小 北京机床研究所NAM-800型最新一代纳米数控车床