chapter8 固态传感器-湿敏090808.ppt

8.5 湿度传感器 湿度检测的意义 在工业生产中，湿度测控关系到产品的质量。精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，湿度的测控就显得更加重要。 湿度测控在气象预报、医疗卫生、食品加工、家用电器、农林牧等行业都有广泛的应用。 8.5 湿度传感器 湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法。 绝对湿度是指在一定温度和压力条件下， 每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3，一般用符号AH表示。 相对湿度是指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。相对湿度给出大气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使用相对湿度这一概念。 8.5 湿度传感器 湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。 湿度检测较之其它物理量的检测困难的原因： 因为空气中水蒸气含量要比空气少得多； 液态水会使一些高分子材料和电解质材料溶解，一部分水分子电离后与溶入水中的空气中的杂质结合成酸或碱，使湿敏材料不同程度地受到腐蚀和老化，从而丧失其原有的性质； 湿信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成，因此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中，不能密封。 8.5 湿度传感器 对湿敏器件的要求： 在各种气体环境下稳定性好，寿命长； 满足要求的湿度测量范围，有较快的响应速度；