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SAPMAC法蓝宝石单晶的生长_检测与超声震动加工
蓝宝石晶片加工
第42卷第3期
2010年3月
哈尔滨工业大学学报
JOURNALOFHARBININSTITUTEOFTECHNOLOGY
Vol.42No.3
Mar.2010
SAPMAC法蓝宝石单晶的生长、检测与超声震动加工
韩杰才,许承海,左洪波,孟松鹤,张明福,姚
泰
(哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨150080,hitxuchenghai@)
摘要:分析SAPMAC法生长大尺寸蓝宝石晶体的工艺技术,并对制备的晶体质量进行了检测与分析.研究
22
FHWM值很小,结果表明:采用SAPMAC法生长的蓝宝石晶体结构完整,只有11arcsec;缺陷密??在10/cm
水平,纯度高于99.995%,常温下晶体在3~5μm波段红外透过率高于85%;用超声振动加工技术对大尺寸蓝宝石单晶进行加工,设计了专用金刚石磨削复合刀具,提高了加工效率.关键词:蓝宝石;冷心放肩微量提拉法;质量检测;超声震动加工中图分类号:O781
文献标志码:A
文章编号:0367-6234(2010)03-0398-06
Growth,qualityinspectionandultrasonicvibrationcutting
oflargesizesapphiregrownbySAPMACmethod
HANJie-cai,XUCheng-hai,ZUOHong-bo,MENGSong-he,ZHANGMing-fu,YAOTai
(CenterforCompositeMaterials,HarbinInstituteofTechnology,Harbin150080,China,hitxuchenghai@)
Abstract:Inthispaper,thetechnologyoflargesizesapphiregrownbySAPMACmethodiselaborateda/doc/e650d187bceb19e8b8f6ba8d.htmlndthequalityoftheobtainedcrystalhasbeeninspectedandanalyzed.ResultsindicatethatthecrystalstructureiscompleteandtheFHWMvalueisonly11arcsec.Thedefectconcentrationisinthe102/cm2level,thepurityishigherthan99.995%,andthetransmissionin3-5μmbandisgreaterthan85%.Ultrasonicvibrationmachiningisusedtoprocessthelargesizesapphireandaspecialgrindingcompositecuttingtoolisdesignedtoimproveitsefficiency.
Keywords:sapphire;SAPMACmethod;qualityinspection;ultrasonicvibrationcutting
蓝宝石单晶作为一种结构与功能一体化材料,具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近1900℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外卫星空间技术、高强度激光器的窗口材军事装置、料
[1-3]
提出了更高的要求,即大尺寸、高质量和低成本.
因此高光学质量、大尺寸蓝宝石晶体生长技术仍然是研究的热点内容之一.
为了适应科学技术的发展和工业生产对于蓝宝石晶体质量、尺寸、形状的特殊要求,蓝宝石晶体的人工合成技术及其相关理论发展至今已有上百年的历史,先后发明了多种生长方法,如熔焰法、提拉法、区熔法、坩埚移动法、热交换法、温度梯度法和泡生法等.但其中有些方法生长的晶体质量和尺寸都受到限制,难以满足光学器件的高性能要求,能够用来生长圆柱形大尺寸、高质量蓝Bridg-宝石的方法仅有热交换法、温度梯度法、
[6-8]
man、.本泡生法和SAPMAC法等有限的几种文对SAPM/doc/e650d187bceb19e8b8f6ba8d.htmlAC法生长的大尺寸蓝宝石晶体的生长工艺、晶体质量检测及加工应用给予研究.
.蓝宝石又作为一种重要的技术晶体,以其
独特的晶格结构,良好的物理化学性质及价格优势而成为实际应用的LED和LD发
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