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三坐标测量机示值误差测量结果的不确定度评定 通标标准技术服务（上海）有限公司工业部材料实验室 马岁平 1、概述 1.1 测量方法：依据JJF1064-2010 《坐标测量机校准规范》 1.2 环境条件：实验室环境温度(20±1)ºC，相对湿度小于70%，平衡温度时间不少于5h 1.3 测量标准：三等量块，其扩展不确定度U =(0.1+1.0L )μm （L 是标准量块长度，单 位：m），包含因子k 2.62 。 1.4 被测对象：三坐标测量机，测量范围（0~1000 ）mm，其最大允许示值误差不小于 (0.8+L /500)μm (L 为受检长度，单位：mm) 1.5 测量过程：校准三坐标测量机示值误差时，先将所用标准量块与三坐标测量机同置一 室，等温时间5h 以上。按操作规范对配置的探针进行标定，根据坐标测量机相应轴 测量范围选择标准量块长度，共使用5 个长度值，其最大长度不小于相应轴测量长度 的66%，最小长度不超过30mm，其他长度应使测量长度间隔基本均匀。将标准器在 7 个不同的方向和位置安放，标准器安放的方向应至少包含4 个空间对角线方向。分 别对各测量长度在各方向和位置进行3 次测量，取3 次测量平均值作为测量结果。将 所用标准量块的校准值作为测量长度的约定真值，取三坐标测量机测得长度值与约定 真值之差，即为坐标测量机各校准点的示值误差。 1.6 评定结果的使用： 在符合上述条件的测量结果，一般可直接使用本测量不确定度的评定结果。 2、数学模型 ΔL L −L i s 式中：ΔL ——各校准点的示值误差； L ——各校准点上仪器的实测值； i L ——所用标准量块的实际长度。 s a、实际测量中，以3次测量平均值作为测量结果。 b 、灵敏系数：c1 ∂ΔL / ∂Li 1 c ∂ΔL / ∂L −1 2 s 3、测量不确定度的来源分析 本次不确定度评定所用测量标准是3等量块，在常规环境中使用时温度变化对测量结 果的影响比较大，所以由温度变化引起的不确定度分量必须引入。 Page 1 of 6 根据数学模型，三坐标测量机的示值误差测量结果的不确定度来源主要是： 3.1、 测量重复性引起的标准不确定度u(L ) 评定 i a 、测试环境条件干扰；b、人员操作因素 3.2、标准量块所引入的不确定度分量u(L ) s 输入量L 的不确定度来源主要是标准量块的定值不确定度引起的标准不确定度分项 s u(Ls 1 ) ；由于三坐标测量机和校准量块的温度线膨胀系数不同，当温度偏离标准温度 20℃时引起的标准不确定度分项u(Ls 2 ) ；三坐标测量与校准量块温度差引起的的标准不 确定度分项 ( ) u L 。 s 3 4、测量不确定度的分量评定 4.1 输入量L 的标准不确定度u(L ) 的评定 i i 输入量L 的不确定度来源主要是由测量重复性引起的标准不确定度u(L ) 评定，可以通过 i i 连续测量得到测量列（采用A 类方法进行评定）。 以500mm 示值为例，在重复性条件下，用量块连续校准10 次，得到测量列： 500.0005 500.0006 500.0006 500.0006