X光学元件表面微观轮廓和轮廓的特征.pdfVIP

　 第5卷　第2期 光学　精密工程 . 5, . 2 V o l N o 1997年4月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A p r il, 1997 光学元件表面微观轮廓和轮廓的特征 向　阳 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室, 长春 130022) 　　摘要　探讨了光学元件表面微观轮廓统计特征参数的基本性质、计算方法及其相 互关系; 测试了大量各类光学系统、不同材料元件表面微观轮廓特征参数, 由此明确了 常用光学元件表面微观轮廓特征和轮廓参数的量值范围及其特征。 关键词: 表面粗糙度; 表面微观轮廓特征参数 1　引　　言 　　研究光学元件表面粗糙度的特征, 对进一步探讨粗糙度对像质的影响, 建立粗糙度公差理 [ 1 ] [2- 3 ] 论, 都是至关重要的 。. 和 . 等人 先后研究了相关函数的计算和测试 G R a sign i M R a sign i 方法, 并采用高横向分辨率的显微密度法, 测定了 、 、 等抛光样品的表面微观轮 CaF 2 M gF 2 L iF 廓, 指出: 1. 相关函数是高斯型的; 2. 由于 . [4 ] 和 . . [ 5 ] 测量表面微观轮廓时 J E a stm an J M B enn et t 采用的是低横向分辨率的干涉轮廓仪, 他们所得“相关函数为指数型”的结论是错误的, 而应为 高斯型。. [ 6 ] 讨论了各种表面微观轮廓特征参数的意义和表示方法, 以及测量仪器传 L Chu rch 递函数对测量值的影响。 . 、 . 等人的研究测试结果, 仅限于少量几种实验样品, 不能满足全面探 G R a sign i M R a sign i 讨粗糙度对像质影响和建立粗糙度公差理论的要求。因此, 我们首先研究和建立了高斯型分布 下各种表面微观轮廓特征参数的性质和相互关系式, 以便确定表面微观轮廓的特征; 然后, 研 究和测试了目前各类光学系统、不同材料光学元件表面的微观轮廓。最后, 讨论了表面轮廓的 一般特征。 2　表面微观轮廓特征参数的性质及基本关系 　　下面, 根据统计原理, 讨论和建立表面微观轮廓特征参数的基本性质、及其在高斯分布下 收稿 日期: 1996年10月7 日 应用光学国家重点实验室基金资助课题的部分研究内容 78 光学　精密工程 5卷 的主要相互关系式。 　　如图1所示, 设S (x ) 代表 一表面微观轮廓曲线的高度函 数值, S (x ) 代表S (x ) 的 平均微观高度, 则轮廓 曲线上 任意点至平均高度线 S (x ) 的距离 H (x ) = S (x ) - S (x ) ( 1) . 1