低温非平衡等离子体流动的控制方程及数值应用.pdfVIP

低温非平衡等离子体流动的控制方程及数值应用 杨弼杰1 周宁2 孙泉华1 （1 中国科学院力学研究所，高温气体动力学国家重点实验室（筹），北京海淀区 100190 ） 2 中微半导体设备（上海）有限公司，上海浦东区201201 ） 摘要 本文从 Boltzmann 方程出发，推导了描述低温非平衡等离子体流动的控制方程组。 该方程组考虑了平动非平衡、化学非平衡及磁场对带电粒子输运过程的影响。并利用已有 Chapman-Enskog 展开结果，给出了通量和物性参数的具体表达形式。在此基础之上，基于 SIMPLEC 算法，对GEC-CCP 发生器内氩气的流动和放电过程进行了数值模拟。研究表明， 该模型能较好地描述等离子体实际流动和放电过程，合理的选择物性参数和物理化学机理 是正确模拟非平衡等离子体流动的基础。 关键词：控制方程组，低温等离子体，非平衡流动，CFD 一、引言 低温等离子体技术广泛应用于半导体制造业和航空航天领域。尽管等离子体物理的 学科已经比较成熟且低温等离子体技术得到了大量应用，但作为一种多物理场耦合的复 杂过程，对其流动细节的认识存在困难。国内外对低温非平衡等离子体流动的数值模拟， 更多侧重于等离子体本身的物理化学过程，而对流动的分析和讨论不足。本文从 Boltzmann 方程出发，推导了完整的控制方程组。并用该模型研究 GEC-CCP 发生器内 氩气的流动和放电过程，得到了较好的结果。 二、控制方程组与数值结果 3.1 控制方程 完整的描述低温等离子体流动，需要考虑以下物理现象：电子和重粒子的平动温度 非平衡；化学非平衡；电磁场对输运过程的影响以及分子内部自由度的激发。控制方程 的推导方法常用动理论和控制体法。因为Boltzmann 方程基于粒子的分布函数，动理论 既能给出宏观量的微观解释，又能提供更多的物理细节。本文通过动理论方法，从物理 上揭示低温等离子体流动过程中的影响因素和守恒方程。而类比中性反应气体的工程做 法，给出通量和输运系数的表达形式。 电子守恒方程： ∂n   e +∇⋅ne (uh +ue ) Se (1) ∂t   3 ∂  5      h +∇ Γ − ∇  =−∇⋅ +∆ (n T ) T χ T j E q E (2) e e  e e e  e e e 2 ∂t 2  重粒子守恒方程： 147        u u u P p E j j B (3) ∂ (ρ )+∇⋅(ρ ) =−∇⋅ −∇ +(σ +σ ) +( + )× t h h h h h h e h e h e ∂ρ T    