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第 10卷 第6期 光学 精密工程 Vol . 10 No . 6
2 0 0 2 年 1 2 月 Optics and Precision Engineering Dec . 2 0 0 2
( )
文章编号 1004924X 2002
共聚焦激光扫描荧光显微镜扫描系统研制
1 1 1 1 ,2
周拥军 ,陈德强 ,黄文浩 ,夏安东
( 1. 中国科学技术大学 精密机械及精密仪器系 ,安徽 合肥 230026 ;
2 . 中国科学院化学所 分子反应动力学实验室 ,北京 100800)
摘要 :为适应三维光学微细加工及三维光学信息存储研究的需要 ,研制了共聚焦激光扫描荧光显微镜的
μ μ ( )
工作台式扫描系统 ,扫描范围 138 m ×138 m 。工作台采用压电陶瓷驱动器 PZT actuator 驱动的方式
来获得高分辨率的位移 ,采用带柔性铰链的杠杆放大装置来获得较大的位移范围。描述了工作台的工
作原理 ,并对其静态和动态性能进行了测试 ,实验表明这一扫描系统能很好的应用于共聚焦激光扫描荧
光显微镜系统 。
关 键 词 :共焦显微镜 ;压电陶瓷驱动器 ;柔性铰链
中图分类号 : TH742 . 64 文献标识码 :A
路中加入扫描振镜使光束发生偏转 ,从而实现焦
1 引 言 点在样品上的扫描[6 ] 。转盘扫描是利用快速旋
转的Nip kow Disk 来实现光束对样品的光栅式扫
(
共聚焦激光扫描显微镜 confocal laser scan 描 。
ning micro scop y , 简称 CL SM) 及其在此基础上发 目前 ,利用双光子及其共聚焦显微镜来进行
(
展起来 的双光子激光扫描显微镜 two-p hoton 三维光学高密信息存储及三维光学微细加工的研
laser scanning micro scop y , 简称 TPL SM) 以其优 究工作已成为微型电子器件和光子器件的重要方
异三维成像能力在生物学 、半导体工艺及三维微 法[7- 8 ] 。三维光学微细加工要求聚焦脉冲的宽度
细加工等诸多领域得到 日益广泛的应用[ 1-2 ] 。共 要小 ,光斑的空间轮廓形状光滑 。光束扫描方式
( )
聚焦激光扫描荧光显微镜 CL SM 光学部分的基 由于在扫描过程中使光束发生偏转而产生球差 ,
本原理如图 1 所示 。点光源发出的光通过分光镜 从而容易导致光斑 的空间轮廓形状凹凸不平 。
和物镜聚焦到样品上 , 并在样品中激发出荧光 。 Nip kow Disk 扫描方式在利用飞秒激光作为光源
荧光由物镜收集并通过分光镜会聚到共焦小孔 时 ,将不可避免地造成飞秒激光脉宽的变形和加
上 ,并由探测器检测 。由于共焦小孔 、点光源和物 宽 , 同样也无法提供高质量的光斑 。所
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