微热板式气压传感器结构设计与热分析.pdfVIP

第 12 卷 　第 6 期 光学 精密工程 Vol . 12 ,No . 6 2004 年 12 月 Optics and Precision Engineering Dec . 2004 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 微热板式气压传感器结构设计与热分析 张凤田,唐祯安 ,高仁　 ,金仁成 ,郭文泰 ,王海霞 (大连理工大学 电子工程系 微系统研究中心 ,辽宁 大连 116024) 摘要 :给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理 。分析了微热板各层薄膜厚度 、微热板 下气隙高度 、支撑桥尺寸 、微热板面积大小对传感器加工 、工作性能的影响 ,并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支 撑桥尺寸的传感器结构 。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系 ;用有限元方法模拟了恒 流加热方式下气压对传感器温度分布和温度大小的影响 。分析结果显示 ,气压较高时微热板传热以气体导热为主 ,而气 压较低时以支撑桥导热为主 ;微热板区域温度分布较均匀 ,温度大小受气压影响较大 ;设计的传感器测量范围为 10 ～ 5 10 Pa ,功耗在毫瓦级 ,且具有尺寸小 、热响应快 、易与电路集成等优点 。 关 　键 　词 :微热板 ;气压传感器 ;热分析 ;有限元 中图分类号 : TP2 12 　　文献标识码 :A Design and thermal analysis of gas pressure sensor with microhotplate ZHAN G Fengtian , TAN G Zhenan , GAO Renj ing ,J IN Rencheng , GU O Went ai , WAN G Haixia ( R esearch Cen ter of M icrosys tem Tech nology , D al ian Univers ity of Tech nology , D al ian 116024 , Chi na) Abstract : Fabrication p rocess and working p rinciple of t hermal gas p ressure sensor s based on a surfacema chining microhotplate (M HP) are p resented . The effect s of dimensions of M HP , gas gap , and supporting beams on fabrication and working performance of t he sensor are analyzed , and a new sensor st ruct ure wit h unequal beams is designed . Three heat t ransfer app roaches of M HP including conduction t hrough t he sup porting beams , t hermal radiation , and gas conduction , and t heir variation wit h gas p ressure under const ant temperat ure operation are investigated in t heory . Temperat ure dist ribution and it s amplit ude of t he sensor under const ant current excit ation are