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硬 X 射线微聚焦及应用光束线站 硬 X 射线微聚焦及应用光束线站将利用上海光源高亮度的 X 射线辐射，结 合先进的 X 射线光学系统，在实验站得到高通量、能量可调的单色 X 射线微束， 配备先进的探测系统，使之成为具有国际先进水平的 X 射线微探针装置。本线 站将主要用于开展微束 X 射线荧光分析(μ-XRF)、微束 X 射线谱学(μ-XAFS) 以及 微束成像实验研究，具备原位分析样品的元素组分、化学特性、物质结构及其二 维分布的能力。空间分辨达到微米至亚微米量级，元素分析的灵敏度达到 ppb 级。 光束线主要设计指标如下： 光子能量范围： 3.5keV~22.5keV -4 能量分辨率(ΔE/E) ： 2×10 样品处最小光斑尺寸： ~2μm (采用 K-B 镜聚焦) ~100nm (采用波带片聚焦) 样品处光子通量(@10keV) ： 1011 phs/s (采用K-B镜聚焦) 8 10 phs/s (采用波带片聚焦) 1. 光源 光束线采用真空室内波荡器作为光源，波荡器的周期长度为 2.5 cm，总长度 为 2.0 m，最大磁场强度为 0.94 T 。通过引出高次谐波，该波荡器可覆盖线站所 需要的能量范围，光子能量在 2-23keV 连续可调。 2. 光束线 Toroidal K-B mirrors 24μm Side view 23m monochromator 0.38μm 0.4m Slits 380μm 190μm 23m Tope view 7.6μm 11.5m 5m 0.2m 图 1. 光束线光学原理示意图 光束线前端区采用 SSRF 波荡器辐射前端区的标准设计。光束线采用分级聚 焦的光学方案(如图 1 所示) ，主要光学部件包括预聚焦镜、单色器、K-B 微聚焦 镜和狭缝。从前端区引出的 X 光由掠入射水冷狭缝限束，然后由预聚焦镜在垂 直方向平行化，在水平方向 2:1 聚焦产生次级光源，预聚焦镜后的单色器对光子 能量进行选择，最后由 K-B 微聚焦镜将 X 射线聚焦到样品处，光学系统对光源 7 的水平方向和垂直方向的总缩小比分别为 50:1 和 57.5:1 。采用分级聚焦方案可以 方便地通过次级光源狭缝调节样品处光斑尺寸和光通量，并且部分隔离了上游光 源和光学部件不稳定对样品处光斑位置的影响。实现微米亚微米光斑的基础上， 光束线站设计中采用多种措施以保证样品处光斑位置稳定。 预聚焦镜为超环面镜，由柱面镜压弯成，预聚焦镜采用垂直放置，尽可能减 小了面形误差对光束线性能的影响。单色器采固定出口双平晶单色器，晶体为 Si(111)和 Si(220)；单色器的第一块晶体承受的热功率密度很高，采用间接液氮