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第23卷第1期 光 散射学 报 v0】．23No．1
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2011年3月 J0uRNAL0FLIGHTscATTERING Mar．2011
文章编号：1004—5929【2011)01一001一09
显微拉曼光谱术在微纳电子学研究中的应用
刘 溪，伍晓明，任天令
(清华大学微电子学研究所．清华信息科学与技术国家实验室，北京100084)
摘要：拉曼光谱对被测样品的晶格与分子振动、转动能量非常敏感，而且拉曼光谱的测量具有非破坏性。
在微纳电子学研究中，需要原位的、高空间分辨率的、非接触的测量方法研究各种材料、器件的晶态、应力、
热学性质等参数。由此，显微拉曼光谱术就成为一种能够满足上诉要求的、实现多种参数测量的重要的手
段。本文通过调研和实验研究了显微拉曼光谱术在硅、低维碳纳米材料等的晶态、应力、热学等研究领域
的具体应用，以及一些新出现的研究手段。从大量的相关报道不难看出，显微拉曼光谱术在微纳电子学的
进一步发展中将会有更为广泛和深入的应用。
关键词：显微拉曼光谱术；微电子；晶态；应力；温度；热导率
中图分类号：TN4 文献标识码：A
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Applications Spectroscopy
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Abstract：Themicro—Raman hasthe ofthe ofvibration
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