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微 细 加 工 技 术
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开课单位：机械制造及其自动化系 （052系）
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主讲教师：刘志东
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联系电话
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E-MAIL：liuzhidong@nuaa.edu.cn
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2013 微细加工 1 2013 微细加工 2
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小型机器人鸟叔表演
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参考教材：
1． 微细加工技术（刘明、谢常青等，化学工业出版社，2004 年 10 月）
2 ． 微电子制造科学原理与工程技术（【美】Stephen A. Campbell 著，
电子工业出版社 2003 年 1 月）
3 ． 微细加工技术 （蒋欣荣编著，电子工业出版社 1990 年 6 月）
4 ． MEMS 和微系统——设计与制造（【美】徐泰然著，机械工业出
版社 2004 年 1 月
5． 微机电系统技术 （石庚辰编著，国防工业出版社，2002 年 1 月）
2013 微细加工 7 2013 微细加工 8
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教学要求 教 学 计 划 安 排
1． 请同
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