CMOS Sensor自动光学检测机台之设计与开发.pdf

國立交通大學 工業工程與管理學系碩士班 碩士論文 CMOS Sensor自動光學檢測機台之設計及開發 Design and Development of an AOI Machine for CMOS Sensor 研究生﹕張國政 指導教授﹕彭德保 博士 中華民國九十五年一月 CMOS Sensors自動光學檢測機台之設計及開發 Design and Development of an AOI Machine for CMOS Sensor 學生：張國政 指導教授﹕彭德保 博士 國立交通大學工業工程及管理學系碩士班 摘要 影像感測器的功能是將光的影像訊號，轉換成電的影像訊號，一般可分為電 耦合元件 (CCD)技術和互補金氧半導體(CMOS)技術兩種。CCD 技術大部分由日 本廠商主導，近年來由於台灣半導體技術成熟，使得 CMOS影像感測器在台灣 發展的非常迅速，應用範圍也越來越廣。目前 CMOS影像感測器已成為很多商 業化產品的主要元件，故 CMOS影像感測器生產廠商對於如何確保經由封裝生 產製程後，能有道關卡剔除瑕疵品，視為很重要的課題。CMOS影像感測器主要 會發生之瑕疵包括感光區異常(含變色、異物附著、刮傷)、封蓋溢膠、封蓋偏移、 及玻璃異常(異物附著、刮傷)、 基板(Substrate)異常…等，這些瑕疵都會造成 最終產品成像出現缺陷。 目前業界多是以人工目視對 CMOS影像感測器進行全檢，受限於人眼的最 小可辨識能力約 20µm ，故須借助顯微鏡進行檢驗，容易造成視覺疲勞而影響檢 驗成效，若有不良品流出即會造成商譽的損失。 本研究利用數位影像系統設計 適當光源與取像機構，配合自行開發之 AOI(Automatic optical inspection)軟體 演算法，架構出完整的自動視覺檢測系統。 本研究的目的，在發展出一套適用於CMOS影像感測器自動視覺檢測的機 台，使能檢測出 CMOS影像感測器所可能會發生的瑕疵，以取代目前之人工目 視檢測作業，改善目前人工檢測所不足的檢測精度，並提昇檢測速度與減少誤判 率，最終目標達到減少人工成本與維持產品品質的理想目標。 關鍵字： CMOS影像感測器 ；電腦視覺；自動光學檢測；瑕疵檢測 I Design and Development of an AOI Machine for CMOS Sensor Student ：Kuo- Cheng Chang Advisor ：Dr. Der-Baau Perng Department of Industrial Engineering and Management National Chiao Tung University ABSTRACT The CMOS image sensors have become the key component in various commercialized products. For CMOS image sensor makers, how to eliminate defective products at checkpoint after packaging process is a very important issue. The major manufac