正弦波光强调制式激光三角法高精度测距技术研究.pdfVIP

中文摘要 中文摘要 激光三角法测距技术是一种重要的非接触式测距技术，在工业控制生产、工 业自动化生产中都有着广阔的应用。本文基于传统的非接触式光三角法测量原 理，利用PSD进行光电转换，通过电路处理，实现了正弦波光强调制式的高精度 测距。 本文创新点在于：设计了一种高稳定的正弦波光强调制方案；建立了一种基 于电路的误差补偿模型，对原理的非线性误差进行了校正；建立了电路噪声模型 及温漂模型，并进行低噪寻优。最终研制出实验样机，通过双频激光干涉仪的比 对实验，对非线性误差校正前后的数据进行端点连线平移直线拟合仿真，取得了 良好的预期效果。实验结果表明：仪器士10mm测量范围内，分辨力不低于1um， 误差校正后的非线性度提高近一个数量级，在1．4％0附近，验证了所选方案的可 行性。 论文的主要工作包括以下几个方面： 1、基于光强随动原理，利用高精度的正弦波对激光调制，开发出高稳定的 正弦波光强调制的半导体激光光源，有效地抑制了背景光、温漂等环境因素的干 扰。其光强稳定，频率单一，谐波失真小，与方波光强调制相比，有用信号的能 量非常集中，便于解调，可以达到很高的信噪比； 2、根据PSD的两路输出及AD534的特点，针对原理带来的非线性误差建立 了数学补偿模型，开发了一种基于硬件电路的非线性误差校正技术，实时性好， 可获得更高的控制精度； 3、基于运放实际模型和电阻噪声模型，建立电路的噪声模型及温漂模型， 并进行低噪寻优，大大降低了系统噪声，提高了仪器分辨力； 4、建立各环节电路的数学模型，通过细致的参数计算、取系歹0化值和 Matlab传递函数仿真，保证了电路的准确性和可靠性； 5、建立光学设计的数学模型，根据仪器测量范围及精度的要求，对光学参 数进行优化设计，分析了接收光强、成像光斑对系统测量误差的影响； 6、基于EMC技术，根据电路模块传输信号类型和功耗的不同，从原理设计 出发到PCB绘制、模块布局进行抗干扰设计，极大的抑制了低频噪声。 关键词：光三角法，位移测量，PSD，光强调制，误差校正，噪声模型，滤波器 英文摘要 Abstraet Asan non··contact laser important distance-·measuringtechnology,thetriangle methodis inindustrial andautomation widely controllingproduction applied isbasedtraditionalnon-contact methodas production．This on opticaltriangle paper thePSDis as converter．After measuring photoelectric specified theory,and exploited circuit ofsine·waveintensity processing，highprecisiondistance—measuringlight modulationisrealized． ‰einnovationinthis are：thescheme stablesine—wave paper ofhigh lightintensity modulationisworked error