压电薄膜微加速度计之的设计系统模拟与频率响应稳健化.pdfVIP

中國機械工程學會第十七屆全國學術研討會(2000) ，新興工程技術論文集 壓電薄膜微加速度計之設計系統模擬與頻率響應穩健化 賴富信 余志成* 國立台灣科技大學機械工程系 NSC 89-2210-E-011-027 摘 要 中壓電式加速度微感測器之感測原理係利 本文從事壓電薄膜微加速度計之微結構 用壓電材料的壓電效應來感測加速度之大 系統設計、穩健化及模擬，以建立完整薄膜 小，除上述 方式外加速度計之種類尚有共振 感測元件的設計模式與分析方法 。首先建立 式 （Resonant ）等、光學式(Optical) [6] 、溫 系統響應模式，進而掌握設計重點與控制參 差 式 (Thermopiles)[7] 、及在更早期 Meunier 數。並採用有限元素分析系統 ANSYS 做為數 P -L 等人的表面聲波方式 [8- 10] 。 值驗證工具，分析的結果結果顯示系統模式 壓電陶瓷材料具有機械能與電能之間的 推導及 ANSYS 分析之頻率響應非常相近。為 轉換特性 ，已廣泛地應用在 感測與致動元件 降低設計對製造誤差的敏感度，提升感測器 中 ，如微加速度計 （Micro -accelerometer ） 、 準確度，本文應用田口品質法的穩健化設計 聲波感測器 （Acoustic Sensor ）、紅外線檢測 概念 ，以系統模式設計最佳化配合實驗計劃 器（Infrared Detector ）、微致動閥 （Microvalve ） 分析，進行設計最佳化。不僅提升了感測器 及微泵 （Micropump ）等。 另一方面，壓電 的輸出增益 24.5 ％，也同時降低輸出變異範 材料薄膜化 除保有塊材的壓電特性外，更具 圍達 20 ％，證明應用系統模式推導之合理性 有低成本的優點，而隨著陶瓷材料薄膜化的 及穩健化方法之可行性。 技術快速發展，提高了壓電薄膜的品質，在 關鍵字：微機電、微加工誤差、田口方法、 各種微感測器及微致動器的應用上，具有相 穩健最佳化 當的潛力。 多數的文獻著重於微感測元件製造技術 背景與目的 的探討 [11- 13] ，其中部分[14 ,1 5]應用有限元 素法，針對彈性元件上受到彎曲力矩、側向 微機電系統 （Micro Electro Mechanical 剪力、軸向剪力的壓電薄膜，進行靜態與動 System ，MEMS ）在近幾年來已成為熱門的 態壓電特性分析。有些研究針對加速度微感 研究課題 ，其中微感測器是在微機電系統中 測器之機械結構，進行靜態與動態行為分析 最早被商品化的產品 ，也是發展最快速的技 [16] 。Nemirovsky 等 [17]則利用壓電薄膜進行 術之一。大部份的微感測元件係利用矽微細 壓縮式微加速度計的設計。然而，對於微感 加工 （Silicon micromachining ）技術在矽晶圓 測元件參數設計的分析 [18] ，與製造誤差對 （Silicon wafer ）上製作出三次元的微結構，