电子背散射衍射技术及其在材料科学中应用.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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中国体视学与图像分析2005年第10卷第4期 CHINESEJOURNAL ANDlMAGEANALYSISVol10NO4Dec OFSTEREOLOGY 2005 文章编号：1007—148212005)04—0205—06 ·综述· 电子背散射衍射技术及其在材料科学中的应用刘庆 (清华大学材料科学与上程系先进材料教育部重点实验窜，北京100084) 摘要：本文介绍了电子背散射衍射(EBSD)分析技术的基本原理、发展历史、EBSD系统的组成、实验条件、分辩率及EBSD数据处理方法等。通过多个典型的实例，系统介绍EBSD技术在材料研究领域中的应用，并就EBSD技术与其他相关分析技术的比较进行了讨论。关键词：EBSD；取向；织构中图分类号：TGll5．23；0722+7文献标识码：A EBSD andits inmaterialsscience techniqueapplications LIU Qing Research ofMaterialsScienceand (Metals Institute，Department Engineering 100084，China) TsinghuaUniversity，Bering this basic ofelectron Abstract：In is paper，theprinciple back—scattering introduced．ThemodernEBSD resolutionand system，experimentalconditions，spatialresolution，angular ofthedataarealsodescribedinthis oftheEBSD postanalysis paper．Finally，theapplications technique inmaterialsciencearediscussed afew byusing typicalexamples． Keywords：EBSD；orientation；texture EBSD进行相分析、获得界面(晶界)参数和检测塑 1 电子背散射衍射分析技术简介性应变。目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快 20世纪90年代以来，装配在扫描电子显微镜 (能达到约36万点／小时甚至更快)，分辨率高(空 Back—scatter— (SEM)上的电子背散射花样(Electron 间分辨率和角分辨率能分别达到0．1¨m和0．5。)， Patterns，简称EBSP