半导体装备控制系统公共IO服务接口研究.pdfVIP

第28卷第4期增刊 仪器仪表学报 VOL28N。-4 2007 2007年4月 ChmeseJournalofScienti6cInstrument ApL 半导体装备控制系统公共Io服务接口研究 刘明哲，徐皑冬，康凯 (中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016) 摘要：半导体装备控制系统中，不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存．给控制系统的实现带来很大的麻烦。 本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法，为控制系统应用不必考虑具体通信技术细节『『『i达到操作上的一致性 提供一种思路。 关键词：公共10服务；半导体装备；现场总线 Researchof Ioserviceinterfacewithcontml of public system manufacturingequipm蛐t LiuMi Kai rlgzhe，XuAid。119，Kang (懿跏婵gjm胁诎；o，A“f口础洳∞幽i埘卵AmdPmy D，sc2跏洒，舶删妒粥j，ooJ6t西i础) andcommuIlicationmethodsofIoc帆tmlcoe)dstin Abstract：Manytechnologies controlsyst咖ofse耐conduct。r manufactu““gequipment．Thisgives torealjzation。fcontml manyproblems syst锄software．Thispaperpresents amethodof IOserViceinterfacebased0ntheunifo咖fram州orkThemethod akindof for public pr嘶des thought realization。fcontroI con without about syst咖to slstency thecommunlcationdetails． operati。n thInklng Io s咖ic。nductor words；publicser“ce； neldbus Key ma叫facturingequipmen‘； 等各类设备具有不同的控制方法，半导体装备制造商 引 言 大多根据自身的需求，选择不同的方式。 本文实现了一种统一架构的公共Io服务接口方 半导体装备主要是用于晶圆(wafer)的加工和处法，将当前不同控制方法、不同技术实现的半导体控制 理的制造设备，从工艺上说，半导体装备主要包括刻蚀 底层1暧备统一起来，用户不必了解底层设备的技术细 设备、离子注入设备、涂腔、显影设备等不同工艺的处 节，从而实现半导体装备控制系统的模块化、平台化 理设备，而从工序上讲，半导体装备又包括晶隐I处理、 思想。 组装