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基于SOI的内嵌圆式正/\边形谐振腔滤波器研究
吴宝锋 肖金标孙小菡
(东南大学电子科学与工程学院光子学与光通信研究室,江苏南京210096)
摘要:SOI光波导是硅基光波导器件的基础,也是实现其他集成光学器件的基础。本文分析了
SOI脊波导的单模条件,结合SOI波导模型提出了内嵌圆式正八边形谐振腔的回音壁模式滤
波器。应用有效折射率法把三维SO[模型转化为二维结构,并应用二维时域有限差分法进行
模拟。针对模拟结果进行分析改进,给出了串联情况下滤波器。
关键词:SOI;内嵌圆式正八边形谐振腔;回音壁模式;时域有限差分法
AnI ontheEmbeddedCircular
nvestigation Octagonal
on
FiltersBasedtheSilicon..on..insulator
Wu XiaoJinbiaoSunXiaohan
Baofeng
(Labof and Electronic
photonicsOpticalCommunications,Dept.of
210096,China)
University,Nanjing
of of
Abstract:Siliconon structuresarethebasevariouskinds
insulator(SOI)opticalwaveguide
silicon.based conditionsoftheSOI—basedrib
waveguidecomponents.Thesingle—mode waveguide
isfirst tothe modesembeddedcircular resonator
analyzed,andappliedwhisperinggallery ocmgonal
is intothe 2Dstructure theeffective
filter.The3DSOIstructureconvertedcorrespondingbyusing
iS the2D
indexmethod(EIM)、andthenthewholedevicesimulated
by
time—domain(FDTD)forordertoobtmntheexcellent cascade
improvingefficiency.In behavior,a
resonatorfilteris and indetail.
octagonalring presentedanalyzed
Circular
words:SOI;Embedded Resonator;WhisperingGallery
Key Octagonal
DifferenceTimeDomainMethod
1 引言
E
1999年B
Mao,ChaoLi等人成功制作了基于正六边形谐振腔的光学滤波器‘31。在此基础之上平面波导谐
振腔滤波器在WDM网络中得到广泛
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