内置式微型电液动力泵的研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：073412 内置式微型电液动力泵的研究 于翮孙翠霞俞坚 北京T业火学环境与能源学院强化传热与过程节能教育部重点试验室， 北京， 100023 (Tel：0lO8210， 摘要：本文介绍了一种新型电子冷却技术一微型电液动力泵的丁作原理，并且运用了ME^{S技术， 在硅片L加工了梳状电极形式的微型电液动力泵。采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研 究，取得良好效果。 关键词：电予冷却；微型电液动力泵；传热； 1前言 随着微电子处理器上的电子元件的密度和运算速度的进一步增加，矗接导致微处 理器的散热量持续增加，下一代电子元器件的散热将超过1000w／cm2。这些热量需要 及时排出已保证芯片的温度处于所允许的范围内，现有的风冷技术是不可能满足如此 高的热流密度的散热需求。通过对芯片散热的研究，研究人员发现芯片上部散热量约 占总散热量的20％，从芯片底部散的热量约为80％。而风冷和传统的液体冷却技术只针 对芯片上方局部散热，不能从根本上解决问题。冷却技术已经成为发展。卜．一代电子技 术的瓶颈…。 在众多下一代电子冷却技术的方案中|。2l，基于MEMS加：l：技术的微型电液动力泵被 认为是一种非常有效的办法。同其他方法(如有阀微泵，冲击冷却，压电风扇等)相 比，电液动力泵具有无运动部件，运行可靠，低耗，容易制作和无需维护等优点；并 且可以直接同芯片或流道集成，无需独立空间；还可根据系统的要求，实现微泵的串／ 并联组合；采用商流驱动，不产生附加磁场，不会干扰电子元件一r作。微戮电液动力 泵不仅被认是解决微电子行业中高热流器件的冷却问题的一个突破，还可以被运用在 微流体冷却系统，药物输送和微机电系统等领域。 电液动力泵的研究由来已久，人们很早就已经知道电介质流体可以被电场驱动， 早期的．一作仅仅处。了=_．理论层次上，而缺少完整深入地研究和l实验支持。直到上世纪五 现象，并且通过三种简单的模型，对电液动力泵的动态和静态特性进行了研究，并得 术引入电液动力微泵的设计制造，使电液动力泵的尺寸和外加电压都大大减小，从而 级电极的微泵…，并使用乙醇，丙酮等多种jr作流体进行了测试。韩国学者Ahn(1998) 制造了最早的平面线形式电液动力微泵㈤j。由于平面型电极具有加’r方便，易于集成 等优点，这种结构也被J、+泛采用和改进。美国马里兰火学Darabi等人从电极几何结构、 形状、电极之间的间距、一l：作介质等方面，研究了以上冈素对于离子拖曳泵静压力的 影响¨…。台湾淡江大学的杨龙杰研究团队改良了Ahn的研究【9】，将原来的电极材质改 为氧化铟锡(ITo)，来防止电极老化，使得电液动力微泵的运行寿命大大延长。 基金I页目：国家自然科学基金资助I页目 905 2电液动力泵原理 电液动力学是研究电介质流体和电场之间相互作用的一门科学领域，它主要考虑 了电场对流体介质的作用；同时，也可以被看作是运动介质中的电动力学。当在流场 中旃加一个电场，忽略磁场的影响)流体所受到的力与电场之间的关系如方程$I： 万=q西一土E2V占+vf土p皇三E21 1 。 2 。2。ap ㈩ 其中：F一单位体积流体所受的力，单位N； 口一电荷密度； ’ 压一电场强度，单位y／聊； 占一流体的介电常数： p一流体密度，单位kg／m3； 公式中右边的三项代表了作用在流体上的三种力：第～项是作用予液体内电荷的 库仑力。当流体中存在自由电荷和带电微粒时，在外加电场作用下，会根据电荷的正 负，在库仑力的作用下，