在线CVD法制备Sb掺杂SnO2低辐射薄膜的研究.pdfVIP

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在线CVD法制备sb掺杂Sn02低辐射薄膜的研究 马立云1余丽春周建民赵青南2赵修建 l中国凯盛国际工程有限公司上海200063,2武汉理工大学武汉430070) 用在线CvD法可以有效的实现在SnO,中掺杂Sb,并可以制各出光电性能优良的Snot低辐射薄膜· 关键词: 低辐射(Low-E)玻璃在线CVD法SnOz薄膜掺杂 1.引言 随着全球能源消耗的日益增加,节能已成为当今世界几大主题之一,研究有效节能途径已经 发展成为--f3涉及多个领域的交叉学科。占能耗总量五分之一多的建筑能耗引起了全世界科学家 的极大重视,而建筑能耗的50%是由窗户散失的,因此对玻璃窗节能方法的研究意义重大。1998 年我国开始实施的《节约能源法》第37条规定“建筑物的设计和建造应当采用节能型建筑结构 材料、器具和产品,提高保温隔热性能,减少采暖、制冷、照明的能耗”。因此,具有优良节能 保温性能的低辐射镀膜玻璃在这种形势下脱颖而出。 低辐射玻璃(也称Low-E玻璃)是一种对可见光有较高的透射率,对红外线(尤其是中远红 Low-E 外)有很高的反射率,具有较低辐射率(EO.25),具有良好的隔热性能的镀膜玻璃[1--2|o 玻璃本质上是在高质量的浮法玻璃基片表面上涂覆特殊的金属氧化物透明导电薄膜,对可见光有 良好的透光性,对红外光有很高的反射性。由于它能有效阻挡远红外热辐射,并可根据需要限制 太阳直接辐射,具有非常显著的节能效果,是目前公认的理想窗玻璃材料之一。 低辐射镀膜玻璃自80年代问世以来,发展至今,虽然时间不长,但性能已大为改进nql, 生产技术也日趋成熟。目前在线生产低辐射镀膜玻璃的厂家有英国皮尔金顿公司,美国PPG公司, 法国圣戈班公司,比利时格拉维贝尔等少数几家大公司,这些公司大都采用在线CVD法生产低辐 射镀膜玻璃。由于低辐射镀膜玻璃优异的节能效果,使其在欧美及日本等发达国家得到广泛的应 用,年使用量的增长率高于20%。 量约为292万平方米,仅应用于一些高档建筑,其应用规模与发达国家相比差距甚大。90年代中 期,国内有关部门着手这项技术的基础性研究和应用研究,并取得一定成果。 2.制备方法 玻璃镀膜技术从二十世纪七十年代开始发展到现在,已经形成了一整套成熟完备的技术,有 真空蒸镀膜、溅射成膜、真空离子镀、溶胶一凝胶、离子注入、热喷涂、电浮、化学镀膜和化学 气相沉积等技术。其中化学气相沉积(Chemical Vapour 成薄膜元素的一种或几种化合物或单质气体,供给基板,借助气相反应,在基片表面上反应生成 薄膜的方法。在线汽相沉积法,由于设备简单、成膜速度快、成本低廉,生产效率高,产品易于 174 深加工,可大面积在生产线上镀膜等优势而被广泛应用,将它用于节能镀膜玻璃的研究和开发, 可以制得质优价廉盼低辐射镀膜玻璃。 低辐射玻璃的生产工艺主要有浮法在线汽相沉积法和离线磁控溅射法两种¨q伽。浮法在线镀 膜实施的部位,可以在浮法玻璃生产线的锡橹、过渡辊合或退火窑前端,反应的温度在400_700℃ 之间。在线c、|rD法由于是在浮法玻璃生产线上连续实施,生产规模大,成本较低,能满足建筑市 场的大规模需求。而且,可以根据实际需要方便的制备不同成分的薄膜,且易于掺杂;沉积速率 高,可在线连续生产;由于膜层是在高温状态分解、扩散形成,薄膜与基体结合力强、附着强度 大、热稳定性好、耐磨性和耐腐蚀性好,属“硬膜,可以象普通浮法玻璃那样进行清洗、热弯、 钢化、中空和夹层,并可以在大气环境下单片使用,存贮时间不受限制。离线法生产的低辐射镀 膜玻璃的辐射率相对较低,隔热性能较好,但是这种低辐射镀膜玻璃膜层属“软膜,虽然辐射 率低,但化学和热稳定性差,不能单片使用,镀膜后必须在短时间内做成中空玻璃。通常这种镀 膜玻璃不能热加工,即不能热弯和钢化,这就限制了它的使用范围。 7 先驱体制备Sb掺杂SnOt低辐射薄膜,其中三氯化锑作为掺杂元素Sb的引入剂。首先确定主要原 料的单耗量,根据它们各自的饱和蒸汽压计算出所需汽化气体的流量。在天平上称取定量 按~定的摩尔百分比称取定量SbCl。粉末,将其溶解于无水乙醇中j同样加

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