微机械气流式全方位姿态传感器的敏感机理.pdfVIP

第31卷第6期 压 电 与 声 光 Vo1．31N0．6 2009年12月 PIEZOELECTRICS ＆ ACOUST00PTICS Dee．2009 文章编号 ：1004—2474(2OO9)O6一O797一O3 微机械气流式全方位姿态传感器的敏感机理 宋 佳 ，朴林华 ，刘玉洁，李言杰 ，张福学 (北京信息科技大学 现代测控技术教育部重点实验室 ，北京 100101) 摘 要：采用有限元法，解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的敏感机理。通过建立敏感元件的三维 模型，计算了敏感元件内气流速度在不同倾斜状态下的分布。结果表明，热源周围两两相对的热敏电阻处的气流 速度之差随着倾斜角度 的变化而改变 ；随着倾斜角度 的增加 ，两热敏电阻处的气流速度之差加大，流过两热敏 电阻 的电流之差加大，电桥失去平衡，输出一个与倾斜角度相对应的电压。有限元计算方法为该传感器的优化设计开 辟 了有效 的研究途径 。 关键词 ：微机械 ；气流 ；全方位 ；敏感机理 中图分类号 ：TN379；TN37 文献标识码 ：A SensitiveMechanism 0fM icromachinedAirflow OmnibearingPostureSensor SoNGJia，PIAoLin—hua，LIUYu_．iie，LIYan-jie，ZHANGFu-xue (KeyLab．ofModernMeasurement＆ ControlTechnology，BeijingInformationScience＆ TechnologyUniversity， MinistryofEducation，Beijing100101，China) Abstract：Thesensitivemechanism ofmicromachinedairflow omnibearinglevelposturesensorisexplainedwith themethodofFEA (finiteelementanalysis)．Thedistributionsofairflow velocityindifferenttiltingstatesarecalcu— latedbybuildingthethree-dimensionalmodelofthissensorssenseorgan．Theresultsshow thattheairflow velocity differenceoftWOdetectionhotresistances，whichareparallelfacetoface，changeswiththetiltangle；theairflow ve— locitydifferencebecomeslargerwithalargertiltangle，whichleadstOalargerchangeofthecurrentdifferenceof bothhotresistances，SOtheelectric—bridgelosesitsbalanceandoutputsavoltagesignalofcorrespondingtOthetilt angle．Thefiniteelementmethodprovidesaneffectivewayforoptimizationofthesensor． Keywords：micromachined；airflow ；high-precisionomnibearing；sensitivemechanism 近年来 ，硅加工技术的飞速发展为微系统技术 态传感器的敏感机理。 的发展提供了有利条件 ，微机械技术和 “气体摆”理 1 结构原理 论给我们提供 了新的设计思路——研制微机械气流 全方位倾角坐标示意图如 图 1所示，水平轴相 式全方位水平姿态传感器 ，它不仅解决了气流式水