微面形貌观测物镜的光学系统误差分析.pdfVIP

第 38卷第 11期 光 子 学 报 Vo1．38NO．1l 2009年 1f月 ACTA PHOTONICA SINICA November2009 微面形貌观测物镜的光学系统误差分析* 宋霄，刘娜 ，井文才，贾大功，张红霞，张以谟 (天津大学 a．精密仪器与光电子工程学院；b．光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300072) 摘 要 ：提 出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜 ，分析 了其光学系统的装配误差对实际成像位置 的影响．利用几何光学原理 ，计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系．给 出了满足 CCD成 像分辨率要求的位置调整范围，推导 出透镜的装配误差范围，达到成像清晰、系统分辨率高的 目的． 关键词 ：微 面形貌观测物镜；光学系统 ；装配误 差；分辨率 中图分类号 ：TH742 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2009)09—2989—4 0 引言 微面形貌 ，包括微小 “盲孔”(简称微孔 )底面形 貌的光电精密检测技术 ．在光通讯 ，先进制造技术和 临床医疗等各个方面均有广泛应用．光纤技术是 2O 世纪 7O年代继电缆技术之后迅速发展起来 的以光 纤感知或传输外界信号 的新兴技术 ，广泛应用于光 通信 ．目前 ，微孔内底面的光 电检测系统主要应用 之一是对光通信各种光纤连接器的接 口插座中光纤 图 l 微结构观测镜光 学系统 Fig．1 Theopticalsystem ofmicro—structureinspection 端面的污渍 ，划痕 ，裂缝等缺陷的观测采用直接成像 差，正弦差和位置色差 ]．针对常见单模多模光纤 的 法进行测量 ． 数值孔径为 0．2左右嘲，设计内窥镜头组数值孔径 本文提出一种微面形貌的光 电精密观测多功能 为 0．2，总偏角 为 0．225，通常消色差的双胶合透 系统 ，着重分析光学系统 的装配误差对实际成像分 镜负担偏角 小 于 0．15，考 虑到球差、正弦差和色 辨率的影响．利用几何光学原理 ，计算 了三种装配误 差 的校正要求 ，故选取两组双胶合透镜_l6]． 差与实际成像位移之间的关系．给出了满足 CCD成 1．1 放大倍率 像分辨率要求的位置调整范围，推导出了透镜 的装 光 电检测系统分辨力由光学分辨力和接收器件 配误差范围，达到提高系统分辨率优化系统 的目的． CCD分辨力共同决定 ¨7]．如果选用 1／4英寸的CCD 1 微面形貌观测镜光学系统设计 作为接收器件 ，水平分辨率为 380线 ，有效靶面尺寸 为 3．2ram(H)×2．4inot(V)．CCD的水平分辨率 内窥式微面形貌观测镜 由光纤端面、显微镜头、 R 。。和最小分辨尺寸OCCD可 由式 (1)、(2)推出 分光棱镜 、图像传感器、聚光镜 、光源组成光学部分， L，rvH ×1．333