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No．7
第18卷第7期 光学精密工程 V01．18
andPrecision
2010年7月 Optics Engineering Jul．2010
文章编号1004—924X(2010)07—1554—08
石英玻璃的化学机械磨削加工
仇中军1，周立波2，房丰洲1，椎名刚志2，江田弘2
(L天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072；
2．日本茨城大学工学部，茨城日立316—8511)
摘要：为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工，进一步改善光掩模设备的性能，进行了石英玻璃化学机械磨削
(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应，并使化学反应与机
械去除作用形成动态平衡，从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等，实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形
状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点，开发了CMG专用砂轮及磨削液，利用正交实验法优化了石英玻璃
CMG加工工艺参数，分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工
效率的影响，并利用优化后的工艺参数加工得到了兄为0．795am的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机
械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同，能够满足光掩模设备的性能需求。
关键词：化学机械磨削；石英玻璃；正交试验法
文献标识码：A doi：10．3788／OPE1554
中图分类号：TQl71．68
Chemicalmechanicalfor
grindingquartzglass
Hiroshi2
QIUZhong-junl，ZHOULi—b02，FANGFeng—zhoul，SHINATsuyoshi2，EDA
(Sate Precision
KeyLaboratoryof MeasuringTechnologyInstruments．
300072，China；
TianjinUniversity，Tianjin
316—851
2．CollegeofEngineering，lbarakiUniversity，Hitachi1，Japan)
achievea substrateandto the of
Abstract：Tohigh—qualityquartzglass improve
performancephoto-
mask ChemicalMechanical forthe is
equipment，a Grinding(CMG)methodquartzglassdeveloped．
the
chemicalreactionsofthe andtheabrasive andthe
Byactivelyenhancing workpiece grain，bond
fluidand thechemi
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