微电子机械系统力学特性与尺度效应_梅涛.pdfVIP

( ) Journal of Mechanical Strength 机械强度 2001 ,23 4 :373～379 微电子机械系统的力学特性与尺度效应 MECHANICAL PROPERTIES AND SCAL ING EFFECTS IN MICROEL ECTROMECHANICAL SYSTEMS 1 ,2 2 1 1 梅 　涛 　　孔德义 　　张培强 　　伍小平 ( 1. 中国科学技术大学 力学与机械工程系 ,合肥 230027) (2 . 中国科学院 合肥智能机械研究所 ,合肥 230031) 1 ,2 2 1 1 MEI Tao 　 KON G Deyi 　ZHAN G Peiqiang 　WU Xiaoping (1. Dep artment of Mechanics and Mechanical Engineering , University of Science and Technology of China , Hef ei 230027 , China) (2 . Institute of Intelligent M achines , Chinese Academy of Sciences , Hef ei 230031 , China) ( ) 摘要 　针对微电子机械系统 MEMS 材料的力学特性 、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器 、微机器人的尺度 效应等力学问题进行了研究 。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为 MEMS 结构材料时应遵循的设计和加工原 则 ,并系统地分析 、归纳了静电、电磁 、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征 。通过对机器蚂蚁 、微型飞 机 、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 ,为设计和 制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据 。 关键词 　微电子机械系统 　硅材料 　尺度效应 　微执行器 　微机器人 　微机械 Abstract 　Mechanical properties of MEMS materials , the influence on mechanical properties by micromachining process , size effects on microactuators and microrobots were studied. Design and micromachining principles of silicon and thin films as MEMS structure material wer