2014年MEMS传感器技术.pptVIP

华南农业大学博士生现代测试技术期终作业 报告题目：MEMS传感器技术 学生姓名：陈科尹 学 号：2011110002 学科专业：农业电气化与自动化 学院年级：工程学院 2011级 任课教师：刘洪山 华南农业大学工程学院 2011年12月27日 MEMS传感器技术 工程学院 陈科尹 学号：2011110002 内容提要 MEMS的基本介绍 MEMS的加工方法 MEMS的基本分类 几种常见的MEMS传感器 MEMS在农业上的应用 相关参考文献 MEMS的基本介绍 MEMS的基本介绍 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微机电系统的缩写，它是以机械学、电子学和计算机软件技术融合而成的一门新兴交叉学科。 MEMS的基本介绍 MEMS(微机电系统)，同时也是一门技术，是在一个硅基板上，微米范围内集成了微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统的高新技术。 MEMS的基本介绍 MEMS又是一种产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、农业、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 MEMS的加工方法 MEMS，微电子机械系统采用传统的机械加工艺、软x射线深层光刻电铸成型工艺和半导体