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第19卷第3期 传感技术学报 v01．19No．3
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2006年6月 JOURNAL Jun．2006
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optimization．
1【eywords：MEMS；mcroaccelerometer；couple小field；ANSYS
EEACC：7230；7320G
基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析
董 明，惠 春，徐爱兰
(上海交通大学微纳科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，上海200030)
摘 要：介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理，耦合场分析原理以及ANsYs软件在压电分析中的具体应用。以压电式
四臂加速度计为例，使用ANsYs软件对其进行了静态，模态等分析，得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的
影响。在模态分析中得出了加速度计的前三阶固有频率和与之对应的振动形态。本文的结果可以直接应用到加速度计结构
的优化设计。
关键词：MEMs；微加速度计；耦合场；ANsYs
中图分类号：TP212．1 文献标识码：A
随着微机电系统(MEMS)的快速发展，新型加软件由世界上最大的有限元
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